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使用準(zhǔn)分子激光技術(shù)所進(jìn)行的工業(yè)加工任務(wù)各不相同，青島準(zhǔn)分子預(yù)混氣，這就促使了準(zhǔn)分子激光氣體在準(zhǔn)分子激光技術(shù)產(chǎn)品具有更廣的輸出特性。本質(zhì)上，準(zhǔn)分子預(yù)混氣多少錢，所有的應(yīng)用都要求具有高可靠性，激光壽命更長(zhǎng)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣價(jià)格，運(yùn)轉(zhuǎn)成本更低。在三方面主要應(yīng)用的促進(jìn)下，激光器制造商已經(jīng)取得了大量重要的技術(shù)進(jìn)步。新一代的準(zhǔn)分子激光器維護(hù)間隔時(shí)間更長(zhǎng)，自動(dòng)調(diào)節(jié)能力更先進(jìn)，所需支的擁有成本也更低。

準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)為172nm。

1975年包括美國(guó)政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室，和美國(guó)桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺(tái)商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。

準(zhǔn)分子激光氣體應(yīng)用

準(zhǔn)分子激光氣體(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm)，KrF(248nm)，XeCl (308nm)預(yù)混氣體，主要應(yīng)用于眼科醫(yī)1療、光纖、半導(dǎo)體、材料科學(xué)、電子、平板等領(lǐng)域。作為當(dāng)今1有效，1可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表，準(zhǔn)分子激光器有效的推進(jìn)了諸如半導(dǎo)體，準(zhǔn)分子預(yù)混氣體，AMOLED平板顯示，薄膜，硅底板加工、有機(jī)金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石達(dá)標(biāo)設(shè)備及可替代能源等多種成長(zhǎng)型工業(yè)中的技術(shù)更新。

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